Hutsezko estalduraKalitate handiko zinema meheko materialak fabrikatzeko erabiltzen den prozesua da. Film meheak ekoizten ditu termikoki lurruntzen edo material ezorganikoen arabera, substratu baten gainazalean, hutsean dauden baldintzetan. Artikulu honek xurgapenaren ezarpena aurkeztuko du zehatz-mehatz.
Hutseko estaldura prozesuak urrats hauek ditu:
1. Aukeratu substratu eta material egokia
Substratu eta material egokia aukeratzea hutsezko estalduraren lehen urratsa da. Substratua beira, plastikoa, metala edo bestelako nanomaterialak izan daitezke. Materialak organikoak edo ezorganikoak izan daitezke, hala nola metalak, erdieroaleak, oxidoak edo nitridoak.
2. Kargatu hutsezko estaldura sistema
Bigarren urratsa substratua eta materialak hutsezko estaldura sisteman kargatzea da. Hutsezko estaldura sistemak hutsezko ganbera, metalezko lurruntzailea, sputter eta kontrol sistema biltzen ditu. Vacuum Ganbera hutsezko ingurunea mantentzeko erabiltzen den espazio itxia da, metalezko lurrungailuak eta isurketak substratuen gainean lurruntzeko edo isurtzeko erabiltzen diren gailuak dira eta kontrol-sistema hutsean eta lurruntzea edo sputtering abiadura kontrolatzeko eta doitzeko erabiltzen da.
3. hutsean
Materiala eta substratua kargatu ondoren, hutsezko ganbera ebakuatu behar da. Hustentea oso urrats garrantzitsua da, presio baxua eta garbitasun handiko ingurunea mantentzeak mintzaren kalitatea bermatu dezakeelako. Hutseko ingurunea normalean 10 ^ -6 Mbar baino txikiagoa da, gas molekulak eta bestelako kutsatzaileak baztertzeko.
4. Materiala lurruntzea edo sputtering
Hutseko ingurunea nahi den presiora iristen denean, materiala substratuaren gainean lurrundu edo isuri daiteke. Materialen lurruntzeko bi metodo daude: lurruntze termikoa eta elektroi izpiak lurruntzea. Sputtering-ek bi metodo ditu: magnetroko sputtering eta arku sputtering. Edozein metodo erabiltzen da, materialak lurruntzea edo sputtering tasa eta zinema lodiera kontrolatu behar dira.
5. Egin MultiLayer filma
Geruza bakarreko mintza fabrikatu ondoren, geruza anitz bildu daitezke konposatu bat osatzeko. Material eta deposizio prozesu desberdinak erabil daitezke, hala nola, deposizio txandakatuz, pistola materialen kodeturazioa eta zonalde deposizioa.
6. Probaren mintzaren kalitatea
Azken urratsa mintzaren kalitatea probatzea da. Probak lodiera, propietate fisikoak, propietate optikoak eta propietate elektrikoak izan daitezke, besteak beste. Zehaztu mintz materialak baldintzak betetzen dituen ala ez proben emaitzen arabera.
Laburbilduz, hutsezko estaldura teknologia kalitate handiko film meheak lortzeko metodoa da. Substratu eta material egokia aukeratu behar da, hutsezko estaldura sistema kargatu, xurgatu, materialak lurruntzen edo sputter egin, egin geruza anitzeko filma eta probatu filmaren kalitatea. Hutseko estaldura teknologia oso erabilia izan da elektronikan, optikan, mediku eta energia-eremuetan.