Plastikozko hutsezko estaldura ekipamendua, hutsezko metalizazio edo lurrun fisikoen gordailua (PVD) ekipamendua ere ezagutzen da, estaldura metaliko meheak plastikozko azpiatan aplikatzeko erabiltzen da. Prozesu honek material plastikoak ahalbidetzen ditu hainbat propietate eskuratzeko, hala nola isletasun, hesiaren propietate hobeak eta itxura metalikoa. Ekipamendua osagai hauek osatzen dute normalean:
Hutsezko ganbera: ekipoaren bihotza hutsezko ganbera da, eta bertan estaldura prozesua gertatzen da. Ganbera hermetikoa da eta presio baxuko ingurunea sortzeko diseinatuta dago, airea eta beste kutsatzaile batzuk kenduz.
Substratu Manipulazio Sistema: Sistema hau da plastikozko substratuak hutsezko ganberaren barruan edukitzea eta mugitzea. Substratuetako zati guztiek estaldura pare eta uniformea jasotzen dutela ziurtatzen du.
Lurruntze termiko iturria: lurruntze termiko iturria metalezko estaldura materiala berotzeko erabiltzen da lurrun mehe bihurtu arte. Plastikozko hutsezko estaldurarako erabiltzen den metal ohikoena aluminioa da, baina zilarra, kobrea edo urrea bezalako beste metal batzuk ere erabil daitezke.
Hornidura: energia hornitzaileak beharrezko energia elektrikoa eskaintzen du lurruntzeko iturria berotzeko. Garrantzitsua da metalezko geruzaren gordailu-tasa eta lodiera kontrolatzea.
Hutsearen ponpaketa sistema: hutsezko ponpaketa sistema da ganbera barruan hutsean sortzea eta mantentzeaz. Airea eta bestelako gasak ebakuatzen ditu estaldurarako beharrezko presio baxuko ingurunea lortzeko.
Gasak kontrolatzeko sistema: Sistema honek hutsezko ganberan hainbat gas sartzea arautzen du, prozesu osagarriak, esaterako, sputtering erreaktiboak edo ioi grabatzea, estalduraren propietateak hobetzeko behar direla.
Hozteko sistema: substratua metalezko lurrunarekin estalita dagoenez, berotu egin daiteke. Hozteko sistema batek substratua behar duen tenperaturan mantentzen laguntzen du deformazioa edo kalteak ekiditeko.
Lodieraren jarraipena eta kontrola: nahi den estaldura lodiera, lodiera kontrolatzeko eta kontrolatzeko gailuak lortzeko, hala nola Quartz Crystal monitoreak, gordailu-tasa etengabe neurtzeko erabiltzen dira.
-A
Plastikozko hutsezko estalduraProzesuak plastikozko substratua hutsezko ganbera barruan jartzea dakar, presio baxuko ingurunea sortzeko, metalezko iturria berotzeko, metalezko iturria berotzea eta metalezko lurruna plastikozko gainazalera kondentsatu eta gordailatu ahal izateko. Prozesua ondo sintonizatu daiteke, aplikazio espezifikoen arabera estaldura lodiera eta propietate desberdinak lortzeko. Estalduraren ondoren, plastikozko substratuek nahi den itxura metalizatuaren itxura eskuratzen dute eta funtzionaltasun hobeak izan ditzakete, hala nola isletasun edo hesi propietate handiak.